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纳米非晶 Si_3N_4固体结构和键合特征

张立德 , 王涛 , 蔡树芝 , 牟季美

材料研究学报

本文用X 射线径向分布函数、电镜观察、X 射线电子能谱和X 射线衍射图谱较系统地研究了纳米Si_3N_4固体。结果表明,纳米非晶Si_3N_4在25—1300℃热处理后颗粒没有明显长大,界面组分仍然占有相当大的比例,保持纳米非晶态基本特征、界面为一种新型短程序,Si—N 键配位严重不足,Si 悬键较多。纳米Si_3N_4键结构不是典型的共价键。高于400℃退火,氧化明显,试样表面有SiO_2生成。

关键词: 纳米态 , unsaturated coordination numbers , short-range order

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